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32
포스트-도핑 플라즈마 공정을 통한 도핑된 고유전율 산화막의 도펀트를 원자층 단위로 확산시키면서 결정화하는 방법
(삼성전자 지원)
안지환
이규하
한건구
이상원
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SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
US 19/202,009 (2025.05.08) (삼성전자 지원)
Jihwan An
Geon Woo Park
Sung Eun Jo
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30
페로브스카이트 구조 산화물, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 고체산화물 전지
국내출원번호 10-2025-0052406 (2025.04.22) (산업부(에기평), 과기부(세종), 교육부(중점연) 지원)
안지환
김현민
주경재
권용재
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29
플라즈마를 이용한 박막 형성 방법
국내출원번호 10-2025-0012884 (2025.02.03) (교육부(LINC, 중점연), 과기부(중견) 지원)
안지환
이규하
한건구
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28
고체 산화물 연료 전지 및 고체 산화물 연료 전지의 제조 방법
국내출원번호 10-2024-0174332 (2024.11.29.) (교육부(중점연), 과기부(중견), 산업부(에기평) 지원)
안지환
주경재
김형준
박완우
신동원
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기판처리장치
국내출원번호 10-2024-0071550 (삼성전자 지원)
안지환
조성은
박건우
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SOLID OXIDE CELL, AND METHOD OF MANUFACTURING AND METHOD OF OPERATING SAME
US 18/923,925 (2024-05-31)
Ji Hwan AN
Hyong June KIM
Kyoung jae JU
Sung Eun JO
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고체산화물전지, 이의 제조 방법 및 동작 방법
국내출원번호 10-2024-0066420 (교육부(중점연), 과기부(중견), 산업부(에기평) 지원)
안지환
김형준
주경재
조성은
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원자층 증착을 위한 플라즈마-UV 통합 에너지 강화 시스템
국내출원번호 10-2024-0035195 (교육부(LINC) 지원)
안지환
조성은
박건우
최찬욱
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안개 수집 기판
(산업부(에기평)) 국내출원번호 10-2023-0161964
안지환
김관래
전우민
류건석
최장혁
신지우
이다은
한건구
32포스트-도핑 플라즈마 공정을 통한 도핑된 고유전율 산화막의 도펀트를 원자층 단위로 확산시키면서 결정화하는 방법(삼성전자 지원)안지환 이규하 한건구 이상원