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기판 처리 장치
출원번호 10-2026-0161354 (2026.08.26)(포스텍-삼성전자 산학일체연구센터 전략산학과제 4기 1차년도)
안지환
윤건수
강형구
오정민
조성은
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전기화학소자용 전극 및 이의 제조방법
출원번호 10-2026-0150841(2026.08.12)
양예진
안지환
김형준
이주환
이상원
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반도체 커패시터 및 이의 제조 방법(Semiconductor capacitor and method of manufacturing the same)
국내출원번호 10-2026-0162460(2026.08.28) (연구개발특구육성사업 지원)
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포스트-도핑 플라즈마 공정을 통한 도핑된 고유전율 산화막의 도펀트를 원자층 단위로 확산시키면서 결정화하는 방법
(삼성전자 지원)
안지환
이규하
한건구
이상원
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SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
US 19/202,009 (2025.05.08) (삼성전자 지원)
Jihwan An
Geon Woo Park
Sung Eun Jo
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페로브스카이트 구조 산화물, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 고체산화물 전지
국내출원번호 10-2025-0052406 (2025.04.22) (산업부(에기평), 과기부(세종), 교육부(중점연) 지원)
안지환
김현민
주경재
권용재
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플라즈마를 이용한 박막 형성 방법
국내출원번호 10-2025-0012884 (2025.02.03) (교육부(LINC, 중점연), 과기부(중견) 지원)
안지환
이규하
한건구
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고체 산화물 연료 전지 및 고체 산화물 연료 전지의 제조 방법
국내출원번호 10-2024-0174332 (2024.11.29.) (교육부(중점연), 과기부(중견), 산업부(에기평) 지원)
안지환
주경재
김형준
박완우
신동원
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기판처리장치
국내출원번호 10-2024-0071550 (삼성전자 지원)
안지환
조성은
박건우
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SOLID OXIDE CELL, AND METHOD OF MANUFACTURING AND METHOD OF OPERATING SAME
US 18/923,925 (2024-05-31)
Ji Hwan AN
Hyong June KIM
Kyoung jae JU
Sung Eun JO