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  • 원자층을 증착하는 증착 장치
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    원자층을 증착하는 증착 장치
    출원번호 10-2018-0057550 (2018.05.21.)/등록번호 10-2252797 (2021.5.11.)
    안지환 이성제 계승현 심상일 조소라 양병찬 고도현
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    고체산화물 연료전지 및 그 전해질
    출원번호 10-2018-0055472 (2018.05.15.)/종결 (2020.07.)
    안지환 오성국 양병찬 신정우
  • 리모트 플라즈마를 이용한 원자층 증착 시스템
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    리모트 플라즈마를 이용한 원자층 증착 시스템
    출원번호 10-2017-012056 (2017.09.19.)/등록번호10-2074346 (2020.01.31.)
    안지환 유진근 오성국 김형준 신정우 양병찬 고도현